용량 측정 5 af의 고분해가능

다채로운 전기 측정이 가능

고정밀도 프로빙

자동 위치 보정 기능을 표준 장비

데드 스페이스가 없는 진공 흡착

610(W)×510(D) mm의 와이드인 검사 에리어

0.1 mm의 최소 프로브간 피치로, 파인 피치에 대응

고속 소프트 랜딩 기능으로 최소한의 타흔

기판후 0.1 mm에 대응

용량 측정 방식 채용으로 검사 시간의 단축

용량 측정 5 aF의 고분해가능

자동 위치 보정 기능을 표준 장비

데드 스페이스가 없는 진공 흡착

610 (W)×510 (D) mm의 와이드인 검사 에리어

0.1 mm의 최소 프로브간 피치로, 파인 피치에 대응

고속 소프트 랜딩 기능으로, 최소한의 타흔

기판후 0.1 mm에 대응

기판 반송계를 표준 장비(1116-22, 1116-24)