TDR(시간 영역 반사 측정법)：전송 선로의 평가에 사용되는 수단의 하나로, 특성 impedance의 불균일성 측정
  수단

500×600 mm의 워크 에리어로, 개편으로부터 대형 기판에 대응)

대역 40 GHz 고주파 프로브 내장의 T/H구조로, 고정밀도, 광대역 검사가 가능

카메라＆레이저 변위계에 의해 정확하고 재현성의 높은 프로빙을 실현한, X-Y-Z-θ오토 얼라이먼트

고정밀도 impedance 기준 기판을 탑재해, 자동으로 측정 오차를 제거하는 오토 calibration